ਸੀਵੀਡੀ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (ਐਸਆਈਸੀ) ਕੋਟਿੰਗ

CVD SiC ਕੋਟਿੰਗ ਮੂਲ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਇੱਕ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਪਰਤ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਹ ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਟੂਲਸ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਜਿੱਥੇ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਸਫਾਈ ਦੋਵੇਂ ਮਾਇਨੇ ਰੱਖਦੇ ਹਨ। ਅਸਲ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਈਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਤੁਸੀਂ ਇਸਨੂੰ ਅਕਸਰ AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, ਅਤੇ ਨਾਲ ਹੀ ਕੁਝ AMAT-ਸਬੰਧਤ ਪਲੇਟਫਾਰਮਾਂ ਦੇ ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ ਦੇਖੋਗੇ। ਇਸਨੂੰ ਉਪਯੋਗੀ ਬਣਾਉਣ ਵਾਲੀ ਚੀਜ਼ ਸਿਰਫ਼ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੀ ਨਹੀਂ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੌਰਾਨ ਸਮੁੱਚੀ ਸਥਿਰਤਾ ਵੀ ਹੈ। ਆਮ ਐਪੀਟੈਕਸੀ ਸਥਿਤੀਆਂ - ਹਾਈਡ੍ਰੋਜਨ, ਅਮੋਨੀਆ, ਜਾਂ ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ਕਲੋਰੀਨੇਟਿਡ ਗੈਸਾਂ - ਦੇ ਤਹਿਤ ਕੋਟਿੰਗ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਸਥਿਰ ਰਹਿੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਹੇਠਾਂ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਨੂੰ ਵਧੇਰੇ ਇਕਸਾਰ ਰੱਖਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦੌਰਾਨ ਕਣਾਂ ਦੇ ਦਿਖਾਈ ਦੇਣ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਸਮਾਂ, ਕੋਟਿੰਗ ਨੂੰ ਸਸੈਪਟਰ, ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਰਿੰਗ, ਜਾਂ ਅੱਧ-ਚੰਦਨ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਰਗੇ ਹਿੱਸਿਆਂ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਸਾਰੇ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵੇਫਰ ਹੀਟਿੰਗ ਜਾਂ ਸਥਿਤੀ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਕੋਈ ਵੀ ਛੋਟੀ ਜਿਹੀ ਅਸਥਿਰਤਾ ਉਪਜ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਕਾਰਨ ਕਰਕੇ, ਕੋਟੇਡ ਹਿੱਸਿਆਂ ਨੂੰ ਅਕਸਰ ਖਪਤਕਾਰਾਂ ਵਜੋਂ ਮੰਨਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਅਜੇ ਵੀ ਕਈ ਚੱਕਰਾਂ ਵਿੱਚ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਹੋਣ ਦੀ ਜ਼ਰੂਰਤ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ 4 ਤੋਂ 12 ਇੰਚ ਉਤਪਾਦਨ ਵਿੱਚ।