SiC ਐਚਿੰਗ ਐਜ ਰਿੰਗ

ਇੱਕ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ ਐਜ ਰਿੰਗ ਇੱਕ ਐਨੁਲਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਸੁੱਕੇ ਐਚਿੰਗ ਚੈਂਬਰਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੇ ਦੁਆਲੇ ਕੇਂਦਰਿਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸਨੂੰ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਜਾਂ ਐਜ ਰਿੰਗ ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਇਹ ਵੇਫਰ ਕਿਨਾਰੇ ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿਚਕਾਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸੀਮਾ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਮੈਟੀਰੀਅਲ ਕੰਪੋਜੀਸ਼ਨ:

ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC): CVD ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ ਜਾਂ ਸਿੰਟਰਡ SiC—ਐਡਵਾਂਸਡ ਨੋਡਾਂ ਲਈ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਪਸੰਦ

ਰਿੰਗ ਵਿੱਚ ਵੇਫਰ ਦੇ ਆਕਾਰ (200mm, 300mm, ਜਾਂ 450mm), ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਮੋਟਾਈ, ਅਤੇ ਤੰਗ ਆਯਾਮੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਨਾਲ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਸਟੀਕ ਅੰਦਰੂਨੀ ਵਿਆਸ ਹੈ। ਜਿਓਮੈਟ੍ਰਿਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਵਿੱਚ ਚੈਂਬਰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਸਟੈਪ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ, ਗਰੂਵ, ਪੋਜੀਸ਼ਨਿੰਗ ਹੋਲ, ਜਾਂ ਚੈਂਫਰ ਸ਼ਾਮਲ ਹੋ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਫਾਇਦੇ

ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਐਜ ਰਿੰਗ:

ਅਸਧਾਰਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਕਟੌਤੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਹਮਲਾਵਰ ਫਲੋਰੀਨ- ਅਤੇ ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਦੀ ਉਮਰ ਕਾਫ਼ੀ ਵਧਦੀ ਹੈ।

ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਨਾਲੋਂ ਲਗਭਗ 2.5 ਗੁਣਾ ਵੱਧ, ਵੇਫਰ ਦੇ ਕਿਨਾਰੇ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਤਾਪਮਾਨ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਉੱਤਮ ਕਠੋਰਤਾ ਅਤੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਅਤੇ ਸੰਚਾਲਨ ਦੌਰਾਨ ਚਿੱਪਿੰਗ, ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ ਅਤੇ ਕਣ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ: ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਹਾਲਤਾਂ ਵਿੱਚ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।

SiC ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਰਿੰਗ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਸਥਿਰ ਥਰਮਲ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲਾਂ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦੇ ਹਨ, ਵੇਫਰ ਸੈਂਟਰ ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਵਿਚਕਾਰ ਤਾਪਮਾਨ ਗਰੇਡੀਐਂਟ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਥਰਮਲ ਕਪਲਿੰਗ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਐਚ ਰੇਟ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਆਯਾਮ ਨਿਯੰਤਰਣ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ।

ਆਮ ਅਸਫਲਤਾ ਮੋਡ

1. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਕਟੌਤੀ

ਕਾਰਨ: ਲਗਾਤਾਰ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਹੌਲੀ-ਹੌਲੀ ਰਿੰਗ ਸਤ੍ਹਾ ਤੋਂ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਹਟਾ ਦਿੰਦੀਆਂ ਹਨ।

ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਕਾਰਨ: ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ SiC, ਇਸਦੇ ਉੱਤਮ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੇ ਨਾਲ, ਹਮਲਾਵਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਾਪਣਯੋਗ ਦਰ ਨਾਲ ਖੋਰਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਹੱਲ: ਸਮੇਂ ਦੇ ਨਾਲ ਰਿੰਗ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਦੀ ਨਿਗਰਾਨੀ ਕਰੋ; ਸਥਿਰ ਵੇਫਰ ਗਿਣਤੀਆਂ ਦੀ ਬਜਾਏ ਕਟੌਤੀ ਦਰ ਡੇਟਾ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ ਬਦਲੀ ਸਮਾਂ-ਸਾਰਣੀ ਸਥਾਪਤ ਕਰੋ।

2. ਕਿਨਾਰੇ ਚਿੱਪਿੰਗ ਅਤੇ ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ

ਕਾਰਨ: ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪ੍ਰਭਾਵ, ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ ਗਲਤੀਆਂ, ਜਾਂ ਤੇਜ਼ ਤਾਪਮਾਨ ਵਿੱਚ ਤਬਦੀਲੀਆਂ ਤੋਂ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ।

ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਕਾਰਨ: ਭੁਰਭੁਰਾ ਵਸਰਾਵਿਕ ਸਮੱਗਰੀ ਤਿੱਖੇ ਕਿਨਾਰਿਆਂ ਜਾਂ ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸਾਂ 'ਤੇ ਤਣਾਅ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਲਈ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

ਹੱਲ: ਸਖ਼ਤ ਹੈਂਡਲਿੰਗ SOPs ਲਾਗੂ ਕਰੋ, ਸਾਫਟ-ਟਿਪ ਟੂਲਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰੋ, ਨਿਰਮਾਣ ਦੌਰਾਨ ਸਹੀ ਚੈਂਫਰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਓ, ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਕੰਡੀਸ਼ਨਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਥਰਮਲ ਸਦਮੇ ਤੋਂ ਬਚੋ।

3. ਕਣ ਉਤਪਤੀ

ਕਾਰਨ: ਸਤ੍ਹਾ ਖੁਰਦਰੀ, ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ, ਜਾਂ ਕੋਟਿੰਗ ਡੀਲੇਮੀਨੇਸ਼ਨ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਛੱਡਦਾ ਹੈ ਜੋ ਵੇਫਰਾਂ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।

ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਕਾਰਨ: ਜਿਵੇਂ-ਜਿਵੇਂ ਰਿੰਗ ਮਿਟਦਾ ਹੈ, ਸਤਹ ਰੂਪ ਵਿਗਿਆਨ ਵਿੱਚ ਬਦਲਾਅ ਕਣਾਂ ਦੇ ਢੇਰਨ ਨੂੰ ਸ਼ੁਰੂ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।

ਹੱਲ: ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਸਵੀਕ੍ਰਿਤੀ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡ ਪਰਿਭਾਸ਼ਿਤ ਕਰੋ; ਰਿੰਗ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਦੌਰਾਨ ਕਣਾਂ ਦੇ ਰੁਝਾਨਾਂ ਨੂੰ ਟਰੈਕ ਕਰੋ; ਕਣਾਂ ਦੇ ਪੱਧਰ ਨਿਰਧਾਰਨ ਤੋਂ ਵੱਧ ਜਾਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਬਦਲੋ