ਸਾਰੇ ਵਰਗ
ਸੀ.ਆਈ.ਸੀ. ਸਿਰੇਮਿਕਸ
ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਰਾਂ ਲਈ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਰਿੰਗ
ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਰਾਂ ਲਈ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਰਿੰਗ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਰਾਂ ਲਈ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਰਿੰਗ


ਉੱਨਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਰਾਂ ਲਈ ਐਜ ਰਿੰਗ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਚੈਂਬਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੇ ਹਨ ਜੋ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵੰਡ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਨ, ਵੇਫਰ ਐਜ ਇਕਸਾਰਤਾ ਦੀ ਰੱਖਿਆ ਕਰਨ, ਅਤੇ ਹਮਲਾਵਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਸਮੁੱਚੇ ਚੈਂਬਰ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਨੂੰ ਵਧਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਰੋਧਕ ਸਮੱਗਰੀ ਜਿਵੇਂ ਕਿ SiC, ਕੁਆਰਟਜ਼, ਜਾਂ ਉੱਨਤ ਸਿਰੇਮਿਕਸ ਤੋਂ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਕੀਤੇ ਗਏ, ਇਹ ਐਜ ਰਿੰਗ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ, ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਗੈਸ ਰਸਾਇਣ ਵਿਗਿਆਨ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨ ਲਈ ਬਿਲਕੁਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ ਜੋ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਡਿਵਾਈਸ ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਆਉਂਦੇ ਹਨ। ਅਸੀਂ ਤੁਹਾਡੇ ਹੋਰ ਸਲਾਹ-ਮਸ਼ਵਰੇ ਦੀ ਉਮੀਦ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।

ਵੇਰਵਾ

ਜੇਕਰ ਤੁਸੀਂ ਕਦੇ ਵੀ ਐਜਟੋਸੈਂਟਰ ਇਕਸਾਰਤਾ ਲਈ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਰ ਨੂੰ ਟਿਊਨ ਕੀਤਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਤੁਸੀਂ ਜਾਣਦੇ ਹੋ ਕਿ ਵੇਫਰ ਐਜ ਉਹ ਥਾਂ ਹੈ ਜਿੱਥੇ ਚੀਜ਼ਾਂ ਮੁਸ਼ਕਲ ਹੋ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ। ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ ਪੈਰੀਫੇਰੀ ਦੇ ਨੇੜੇ ਝੁਕ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਜਾਂ ਵਧਦੀ ਹੈ, ਸ਼ੀਥ ਵਕਰ ਬਦਲ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਆਇਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਬਜਾਏ ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਕੰਧ ਨਾਲ ਟਕਰਾਉਣਾ ਸ਼ੁਰੂ ਕਰ ਦਿੰਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਉਹ ਥਾਂ ਹੈ ਜਿੱਥੇ ਐਜ ਰਿੰਗ ਆਉਂਦੀ ਹੈ - ਇਹ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਸਪੇਸਰ ਨਹੀਂ ਹੈ; ਇਹ ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਇੱਕ ਸਰਗਰਮ ਹਿੱਸਾ ਹੈ।

ਸੈਮੀਐਕਸਲੈਬ ਵਿਖੇ, ਅਸੀਂ ਤਿੰਨ ਮਟੀਰੀਅਲ ਪਰਿਵਾਰਾਂ ਤੋਂ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਰਿੰਗ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਾਂ: ਅਲਟਰਾਹਾਈਪਿਊਰਿਟੀ ਸਿਲੀਕਾਨ, ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸੰਘਣੀ ਠੋਸ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ, ਅਤੇ CVD SiC ਕੋਟਿੰਗ ਵਾਲਾ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ। ਹਰੇਕ ਕਿਸਮ ਦਾ ਆਪਣਾ ਮਿੱਠਾ ਸਥਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਪਰ ਸਾਰਿਆਂ ਦਾ ਇੱਕ ਟੀਚਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ - ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਸੀਮਤ ਰੱਖਣਾ, ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਘੱਟ ਰੱਖਣਾ, ਅਤੇ ਪੂਰੀ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਐਚ ਰੇਟ ਨੂੰ ਇਕਸਾਰ ਰੱਖਣਾ। ਸਾਡੇ ਰਿੰਗ ਤਰਕ, ਮੈਮੋਰੀ, ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ, MEMS, ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ, ਅਤੇ ਇੱਥੋਂ ਤੱਕ ਕਿ ਉੱਨਤ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਲਾਈਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵੀ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।

 

ਐਜ ਰਿੰਗ ਕਿਉਂ ਜ਼ਿਆਦਾ ਧਿਆਨ ਦੇਣ ਯੋਗ ਹੈ

 

ਇੱਕ ਆਮ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਇੱਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਸਟੈਟਿਕ ਚੱਕ 'ਤੇ ਬੈਠਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਰਿੰਗ ਇਸਨੂੰ ਘੇਰਦੀ ਹੈ। ਐਚਿੰਗ ਦੌਰਾਨ, ਆਇਨ ਵੇਫਰ ਵੱਲ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ - ਪਰ ਕਿਨਾਰੇ 'ਤੇ, ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਵਾਰਪ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਆਇਨ ਐਂਗੁਲਰ ਵੰਡ ਬਦਲ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇੱਕ ਚੰਗੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਕੀਤੇ ਰਿੰਗ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ, ਤੁਸੀਂ ਦੇਖੋਗੇ:

● ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਨੇੜੇ ਤੇਜ਼ ਐਚਿੰਗ (ਜਾਂ ਹੌਲੀ, ਰਸਾਇਣ ਵਿਗਿਆਨ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ)

● ਡਾਈ ਵਿੱਚ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਮਾਪ

● ਅਸੁਰੱਖਿਅਤ ਚੈਂਬਰ ਸਤਹਾਂ ਤੋਂ ਹੋਰ ਕਣ ਨਿਕਲ ਰਹੇ ਹਨ।

● ਚੈਂਬਰ ਇਮਪੀਡੈਂਸ ਵਿੱਚ ਡ੍ਰਿਫਟ, ਜੋ ਤੁਹਾਡੇ ਮੇਲ ਖਾਂਦੇ ਨੈੱਟਵਰਕ ਨੂੰ ਖਰਾਬ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਇੱਕ ਚੰਗੀ ਕਿਨਾਰੇ ਵਾਲੀ ਰਿੰਗ ਇਸ ਸਭ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸੀਮਾ ਨੂੰ ਆਕਾਰ ਦਿੰਦੀ ਹੈ, ਅੰਡਰਲਾਈੰਗ ਚੱਕ ਅਤੇ ਲਾਈਨਰ ਨੂੰ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰਡਮੈਂਟ ਤੋਂ ਬਚਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਤੁਹਾਨੂੰ ਵੇਫਰ #1 ਤੋਂ ਵੇਫਰ #1000 ਤੱਕ ਉਹੀ ਨਤੀਜਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ।

 

ਸਾਡੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਕੀ ਵੱਖਰਾ ਕਰਦਾ ਹੈ

 

ਅਸੀਂ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਰਿੰਗ ਨੂੰ ਮਸ਼ੀਨ ਕਰਕੇ ਨਹੀਂ ਭੇਜਦੇ। ਅਸੀਂ ਇਸ ਬਾਰੇ ਸੋਚਦੇ ਹਾਂ ਕਿ ਇਹ ਅਸਲ ਉਤਪਾਦਨ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ ਕਿਵੇਂ ਵਿਵਹਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ - ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਵਾਲਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ, ਬਦਲਵੇਂ ਗੈਸਾਂ (SF₆, C₄F₈, Cl₂, BCl₃), ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਚੱਕਰ ਜੋ ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ ਤੋਂ ਸਕਿੰਟਾਂ ਵਿੱਚ ਕਈ ਸੌ ਡਿਗਰੀ ਤੱਕ ਬਦਲ ਸਕਦੇ ਹਨ।

● ਪਦਾਰਥ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ - ਸਾਡਾ ਸਿਲੀਕਾਨ > 99.999% (5N) ਹੈ, ਅਤੇ ਸਾਡੇ SiC ਗ੍ਰੇਡ ਬਰਾਬਰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਹਨ। ਟਰੇਸ ਮੈਟਲ ਲੈਵਲ 1 ppm ਤੋਂ ਘੱਟ ਰੱਖੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਤੁਹਾਨੂੰ ਉੱਚ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲਤਾ ਵਾਲੀਆਂ ਪਰਤਾਂ 'ਤੇ ਅਚਾਨਕ ਗੰਦਗੀ ਨਹੀਂ ਮਿਲਦੀ।

● ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ - ਠੋਸ SiC ਅਤੇ CVD ਕੋਟੇਡ ਹਿੱਸੇ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਹਮਲਾਵਰ ਫਲੋਰਾਈਨ ਅਤੇ ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਿਤ ਪਕਵਾਨਾਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਕਟੌਤੀ ਦਰ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਬੇਅਰ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਜਾਂ ਐਲੂਮਿਨਾ ਨਾਲੋਂ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

● ਅਯਾਮੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ - ਅਸੀਂ ਵਿਆਸ ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ 'ਤੇ ±0.02 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਦੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਰੱਖਦੇ ਹਾਂ, ਜਿਸਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਰਿੰਗ ਦੇ ਪਾਰ 10 µm ਤੋਂ ਬਿਹਤਰ ਹੈ। ਇਹ ਗੈਸ ਲੀਕੇਜ ਮਾਰਗਾਂ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ Lam, TEL, ਜਾਂ AMAT ਚੈਂਬਰਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਸੁੰਘੜ ਫਿੱਟ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।

● ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਸਮਾਪਤੀ - ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਅਸੀਂ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਵਰਗੀ ਸਮਾਪਤੀ (Ra < 0.4 µm) ਤੱਕ ਪਾਲਿਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਾਂ ਤਾਂ ਜੋ ਕਣਾਂ ਦੇ ਚਿਪਕਣ ਅਤੇ ਛਾਂਟਣ ਲਈ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ।

● ਥਰਮਲ ਸ਼ੌਕ ਰੋਧਕਤਾ - ਠੋਸ SiC ਅਤੇ ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਦੋਵੇਂ ਹੀ ਬਿਨਾਂ ਕਿਸੇ ਦਰਾੜ ਦੇ ਤੇਜ਼ ਤਾਪਮਾਨ ਰੈਂਪ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਦੇ ਹਨ, ਮੇਲ ਖਾਂਦੇ CTE ਅਤੇ ਉੱਚ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਕਠੋਰਤਾ ਦੇ ਕਾਰਨ।

 ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਤਿੰਨ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿਕਲਪ - ਕਿਹੜਾ ਤੁਹਾਡੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲ ਹੈ?

 

ਪਦਾਰਥ

ਵਧੀਆ ਲਈ

ਕੁੰਜੀ ਲਾਭ

ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਸਿਲੀਕਾਨ

ਸਟੈਂਡਰਡ ਆਕਸਾਈਡ/ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਐਚਿੰਗ, ਜਿੱਥੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਜਾਣ-ਪਛਾਣ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ

ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨਾਲ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਹੈ; ਕੋਈ ਵਿਦੇਸ਼ੀ ਸਮੱਗਰੀ ਜੋਖਮ ਨਹੀਂ; ਉੱਚ-ਵਾਲੀਅਮ ਬਦਲਣ ਲਈ ਕਿਫਾਇਤੀ

ਠੋਸ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ

ਹਮਲਾਵਰ ਡੀਪਸੀ ਐਚਿੰਗ (ਬੋਸ਼), ਮੈਟਲ ਐਚ, ਜਾਂ ਹਾਈ ਪਾਵਰ ਆਈਸੀਪੀ

ਜ਼ੀਰੋ ਦੇ ਨੇੜੇ ਕਟੌਤੀ; ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਦੇ ਅੰਤਰਾਲਾਂ ਨੂੰ 2-3× ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ; ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਗਰਮ ਧੱਬਿਆਂ ਨੂੰ ਦੂਰ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੀ ਹੈ।

CVD SiCਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ

ਦਰਮਿਆਨੀ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ ਦੇ ਨਾਲ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਐਚਿੰਗ

ਹਲਕਾ (ਸੰਭਾਲਣ ਵਿੱਚ ਆਸਾਨ), ਘੱਟ ਲਾਗਤ, ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਸ਼ੁੱਧ SiC ਸਤਹ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ - ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ 200 mm ਅਤੇ 300 mm ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਇੱਕ ਚੰਗਾ ਸੰਤੁਲਨ।

ਤਿੰਨੋਂ ਹੀ ਕਸਟਮ ਵਿਆਸ, ਮੋਟਾਈ, ਅਤੇ ਅੰਦਰੂਨੀ/ਬਾਹਰੀ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲਾਂ ਵਿੱਚ ਉਪਲਬਧ ਹਨ - ਬੱਸ ਸਾਨੂੰ ਆਪਣੀ ਡਰਾਇੰਗ ਭੇਜੋ।

 

ਫੈਬ ਵਿੱਚ ਤੁਹਾਨੂੰ ਸਾਡੇ ਰਿੰਗ ਕਿੱਥੇ ਮਿਲਣਗੇ


● ਆਈਸੀਪੀ ਐਚਰ (ਇੰਡਕਟਿਵਲੀ ਕਪਲਡ ਪਲਾਜ਼ਮਾ) - ਡਾਊਨਸਟ੍ਰੀਮ ਅਤੇ ਡਾਇਰੈਕਟ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੋਵੇਂ।

● CCP ਐਚਰ (ਕੈਪਸੀਟਿਵਲੀ ਕਪਲਡ) - ਖਾਸ ਕਰਕੇ SiO₂ ਅਤੇ SiN ਵਰਗੀਆਂ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਰਤਾਂ ਲਈ

● TSV ਅਤੇ MEMS ਲਈ ਡੀਪ ਰਿਐਕਟਿਵ ਆਇਨ ਐਚਿੰਗ (DRIE)।

● ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚ - GaAs, InP, GaN - ਜਿੱਥੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਕਟੌਤੀ ਨਿਯੰਤਰਣ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਨ।

● ਉੱਨਤ ਪੈਕੇਜਿੰਗ - ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, ਵੇਫਰਲੈਵਲ ਫੈਨਆਉਟ ਅਤੇ ਆਰਡੀਐਲ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਲਈ ਸਾਫ਼, ਇਕਸਾਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਟ੍ਰਿਮਿੰਗ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

 

ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਵਾਹ - ਕੱਚੇ ਮਾਲ ਤੋਂ ਕਲੀਨਰੂਮ ਪੈਕੇਜ ਤੱਕ

 

● ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਚੋਣ - ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਅਨਾਜ ਦੇ ਆਕਾਰ (SiC ਲਈ), ਅਤੇ ਘਣਤਾ ਦੀ ਆਉਣ ਵਾਲੀ ਤਸਦੀਕ।

● ਪ੍ਰੀਫਾਰਮ ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ - ਖੁਰਦਰਾ ਮੋੜ ਅਤੇ ਮਿਲਿੰਗ ਨੂੰ ਨੇੜਲੀ ਸ਼ਕਲ ਵਿੱਚ।

● ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਾਲ ਪੀਸਣਾ - ਅੰਤਿਮ ਜਿਓਮੈਟਰੀ ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਡਾਇਮੰਡਵ੍ਹੀਲ ਪੀਸਣਾ।

● ਪਾਲਿਸ਼ਿੰਗ - ਲੋੜੀਂਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਮਕੈਨੀਕਲ ਜਾਂ ਰਸਾਇਣਕ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਾਲਿਸ਼।

● CVD ਕੋਟਿੰਗ (ਜੇ ਲਾਗੂ ਹੋਵੇ) - ਕੋਟਿੰਗ ਕੀਤੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਲਈ, ਅਸੀਂ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਸਟੋਈਚਿਓਮੈਟਰੀ ਦੇ ਨਾਲ 100-200 µm SiC ਪਰਤ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।

● ਅੰਤਿਮ ਨਿਰੀਖਣ - ਮਾਪਾਂ ਲਈ CMM, ਖੁਰਦਰੇਪਣ ਲਈ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲੋਮੀਟਰ, ਅਤੇ ਨੁਕਸਾਂ ਲਈ ਆਪਟੀਕਲ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪੀ।

● ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈ - ਕਿਸੇ ਵੀ ਬਚੇ ਹੋਏ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਹਟਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਕਲਾਸ 100 ਕਲੀਨਰੂਮ ਵਿੱਚ ਸੁਕਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

● ਵੈਕਿਊਮ ਸੀਲਡ ਪੈਕੇਜਿੰਗ - ਸ਼ਿਪਮੈਂਟ ਲਈ ਡਬਲਬੈਗ ਕੀਤਾ ਗਿਆ।

 

ਗੁਣਵੱਤਾ ਭਰੋਸਾ - ਅਸੀਂ ਹਰ ਚੀਜ਼ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰਦੇ ਹਾਂ

 

ਹਰੇਕ ਬੈਚ ਇੱਕ ਸਖ਼ਤ ਰਿਲੀਜ਼ ਚੈੱਕਲਿਸਟ ਵਿੱਚੋਂ ਗੁਜ਼ਰਦਾ ਹੈ:

● ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦਾ ਸਰਟੀਫਿਕੇਟ (GDMS ਜਾਂ ICPMS)

● ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ-ਤੋਂ-ਫੰਕਸ਼ਨ ਮਾਪਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਆਯਾਮੀ ਰਿਪੋਰਟ

● ਸਤ੍ਹਾ ਖੁਰਦਰੀ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ

● ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਅਤੇ ਅਡੈਸ਼ਨ (ਕੋਟੇਡ ਮਾਡਲਾਂ ਲਈ) - ਅਸੀਂ ਪ੍ਰਤੀਨਿਧੀ ਨਮੂਨਿਆਂ 'ਤੇ ਸਕ੍ਰੈਚ ਟੈਸਟ ਅਤੇ SEM ਕਰਾਸਸੈਕਸ਼ਨ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।

● ਉੱਚ-ਤੀਬਰਤਾ ਵਾਲੀ ਰੋਸ਼ਨੀ ਹੇਠ ਦਰਾਰਾਂ, ਟੋਇਆਂ, ਜਾਂ ਸਮਾਵੇਸ਼ਾਂ ਲਈ ਦ੍ਰਿਸ਼ਟੀਗਤ ਨਿਰੀਖਣ।

● ਸਫਾਈ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗਿਣਤੀ - ਅਸੀਂ < 0.1 ਕਣ/ਸੈ.ਮੀ.² > 0.1 µm ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਤਰਲ ਕਣ ਕਾਊਂਟਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।

 

ਸਾਡੇ ਗਾਹਕਾਂ ਤੋਂ ਆਮ ਸਵਾਲ

 

Q1: ਮੈਨੂੰ ਕਿਨਾਰੇ ਵਾਲੀ ਰਿੰਗ ਨੂੰ ਕਿੰਨੀ ਵਾਰ ਬਦਲਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ?

A: ਇਹ ਤੁਹਾਡੀ ਰੈਸਿਪੀ ਅਤੇ ਪਾਵਰ ਲੈਵਲ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਭਾਰੀ ਫਲੋਰੋਕਾਰਬਨ ਐਚਿੰਗ ਵਿੱਚ, ਠੋਸ SiC ਰਿੰਗ 3-6 ਮਹੀਨਿਆਂ ਤੱਕ ਲਗਾਤਾਰ ਕੰਮ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ; ਸਿਲੀਕਾਨ ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਹਰ 1-2 ਮਹੀਨਿਆਂ ਵਿੱਚ ਬਦਲਣ ਦੀ ਲੋੜ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਅਸੀਂ ਤੁਹਾਡੀ ਐਜਰੇਟ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਟਰੈਕ ਕਰਨ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਾਂ - ਜਦੋਂ ਤੁਸੀਂ 5% ਤੋਂ ਵੱਧ ਸ਼ਿਫਟ ਦੇਖਦੇ ਹੋ, ਤਾਂ ਰਿੰਗ ਦੀ ਜਾਂਚ ਕਰਨ ਦਾ ਸਮਾਂ ਆ ਗਿਆ ਹੈ।

Q2: ਕੀ ਮੈਂ ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ICP ਐਚਰ ਵਿੱਚ ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਰਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹਾਂ?

A: ਹਾਂ, ਪਰ ਸਿਰਫ਼ ਤਾਂ ਹੀ ਜੇਕਰ ਪਰਤ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਸੰਘਣੀ ਅਤੇ ਕਾਫ਼ੀ ਮੋਟੀ ਹੋਵੇ (ਅਸੀਂ > 150 µm ਦੀ ਸਿਫ਼ਾਰਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਾਂ)। ਬਹੁਤ ਹੀ ਹਮਲਾਵਰ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ, ਅਸੀਂ ਇਸਦੀ ਬਜਾਏ ਠੋਸ SiC ਦਾ ਸੁਝਾਅ ਦੇਵਾਂਗੇ - ਪਰ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ 200 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਐਚਰਾਂ ਲਈ, ਕੋਟੇਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਵਧੀਆ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਦੀ ਲਾਗਤ ਘੱਟ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

Q3: ਕੀ ਤੁਸੀਂ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਅੰਦਰੂਨੀ ਬੇਵਲ ਕੋਣਾਂ ਵਾਲੇ ਰਿੰਗ ਪੇਸ਼ ਕਰਦੇ ਹੋ?

A: ਬਿਲਕੁਲ। ਅੰਦਰੂਨੀ ਕਿਨਾਰੇ ਦਾ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸ਼ੀਥ ਕਪਲਿੰਗ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਅਸੀਂ ਇੱਕ ਸਿੱਧਾ ਕਿਨਾਰਾ, ਇੱਕ ਚੈਂਫਰਡ ਕਿਨਾਰਾ, ਜਾਂ ਇੱਕ ਰੇਡੀਅਸਡ ਕਿਨਾਰਾ - ਜੋ ਵੀ ਤੁਹਾਡਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਪਸੰਦ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਮਸ਼ੀਨ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ।

Q4: ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਸਟੈਟਿਕ ਚੱਕ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਬਾਰੇ ਕੀ?

A: ਸਾਡੇ ਰਿੰਗ ਚੱਕ ਮੋਢੇ 'ਤੇ ਇੱਕ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਪਾੜੇ (ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 0.2-0.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ) ਦੇ ਨਾਲ ਬੈਠਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ ਤਾਂ ਜੋ ਆਰਸਿੰਗ ਤੋਂ ਬਚਿਆ ਜਾ ਸਕੇ। ਅਸੀਂ ਤੁਹਾਡੇ ਚੱਕ ਦੀਆਂ ਕਲੈਂਪਿੰਗ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨਾਲ ਮੇਲ ਕਰਨ ਲਈ ਹੇਠਲੀ ਸਤਹ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ।

Q5: ਕੀ ਤੁਸੀਂ ਯੋਗਤਾ ਲਈ ਨਮੂਨਾ ਰਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹੋ?

A: ਹਾਂ। ਅਸੀਂ ਅਕਸਰ ਔਨਟੂਲ ਟੈਸਟਿੰਗ ਲਈ ਇੱਕ ਛੋਟਾ ਬੈਚ (2-5 ਟੁਕੜੇ) ਸਪਲਾਈ ਕਰਦੇ ਹਾਂ। ਇੱਕ ਵਾਰ ਜਦੋਂ ਤੁਸੀਂ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਦੇ ਹੋ, ਤਾਂ ਅਸੀਂ ਉਤਪਾਦਨ ਮਾਤਰਾਵਾਂ ਤੱਕ ਮਾਪਦੇ ਹਾਂ।

 

ਫੈਬ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਸੈਮੀਕਲੈਬ ਵਿੱਚ ਕਿਉਂ ਵਾਪਸ ਆਉਂਦੇ ਰਹਿੰਦੇ ਹਨ

 

ਅਸੀਂ ਇੱਕ ਵੱਡਾ ਕੈਟਾਲਾਗ ਸਪਲਾਇਰ ਨਹੀਂ ਹਾਂ - ਅਸੀਂ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਦੁਕਾਨ ਹਾਂ ਜੋ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ-ਨਿਰਪੱਖ ਖਪਤਕਾਰਾਂ 'ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਸਾਡੀ ਟੀਮ ਵਿੱਚ ਸਾਬਕਾ ਐਚ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ ਜੋ ਸਮਝਦੇ ਹਨ ਕਿ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਦਰ ਵਿੱਚ ਰੁਕਾਵਟ ਤੁਹਾਡੇ ਉਪਜ 'ਤੇ ਕੀ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਅਸੀਂ RFQs ਦਾ ਜਲਦੀ ਜਵਾਬ ਦਿੰਦੇ ਹਾਂ, ਪ੍ਰਤੀਯੋਗੀ ਲੀਡ ਟਾਈਮ (ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਿਆਰੀ ਆਕਾਰਾਂ ਲਈ 2-3 ਹਫ਼ਤੇ) ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੇ ਹਾਂ, ਅਤੇ ਅਸੀਂ ਸਫਾਈ 'ਤੇ ਕੋਈ ਕਮੀ ਨਹੀਂ ਕਰਦੇ। ਭਾਵੇਂ ਤੁਹਾਨੂੰ ਨਵੇਂ ਚੈਂਬਰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਲਈ ਇੱਕ ਵਾਰ ਦੇ ਪ੍ਰੋਟੋਟਾਈਪ ਦੀ ਲੋੜ ਹੋਵੇ ਜਾਂ 24/7 ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਈਨ ਲਈ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਮਾਸਿਕ ਸਪਲਾਈ ਦੀ, ਅਸੀਂ ਉਸ ਅਨੁਸਾਰ ਸਕੇਲ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਾਂ।



ਪੜਤਾਲ

ਗਰਮ ਸ਼੍ਰੇਣੀਆਂ