ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ 0020-31624

ਉੱਨਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਅੰਦਰ ਗੈਸ ਡਿਲੀਵਰੀ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਿਰਭਰ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ (GDP), ਜਿਸਨੂੰ ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ ਪਲੇਟ ਵੀ ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਅਧਾਰਿਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਜਮ੍ਹਾ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਿੱਚੋਂ ਇੱਕ ਹੈ। ਸੈਮੀਕਲੈਬ ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲੇ ਰਿਪਲੇਸਮੈਂਟ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜੋ ਮੰਗ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰ ਫੈਬਰੀਕੇਸ਼ਨ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਹਨ।

ਉਤਪਾਦ ਸੰਖੇਪ ਜਾਣਕਾਰੀ

AMAT 0020-31624 ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ ਇੱਕ ਸ਼ੁੱਧਤਾ-ਇੰਜੀਨੀਅਰਡ ਗੈਸ ਫਲੋ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ ਜੋ ਅਪਲਾਈਡ ਮਟੀਰੀਅਲਜ਼ (AMAT) ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

ਉੱਚ-ਇਕਸਾਰਤਾ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ, ਇਹ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸਾਂ ਦੀ ਸਹੀ ਅਤੇ ਸਥਿਰ ਡਿਲੀਵਰੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇਕਸਾਰਤਾ, ਫਿਲਮ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਜਰੂਰੀ ਚੀਜਾ:

● ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਵੰਡ ਢਾਂਚਾ

● ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ

● ਘੱਟ ਕਣ ਪੈਦਾ ਕਰਨਾ

● ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਪ੍ਰਵਾਹ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ

● ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਹਾਲਤਾਂ ਅਧੀਨ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ

● ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਅਤੇ ਐਚਿੰਗ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਢੁਕਵਾਂ

AMAT ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ ਆਮ ਭੂਮਿਕਾਵਾਂ

AMAT ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਪ੍ਰਣਾਲੀਆਂ ਵਿੱਚ, ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਉੱਪਰਲੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ, ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਖੇਤਰ ਦੇ ਬਿਲਕੁਲ ਉੱਪਰ ਸਥਾਪਿਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

ਇਸਦਾ ਮੁੱਖ ਕੰਮ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਜ਼ੋਨ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕਸਾਰ ਵੰਡਣਾ ਹੈ ਜਦੋਂ ਕਿ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ ਵਿੱਚ ਸਥਿਰ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਣਾ ਹੈ।

ਮੁੱਖ ਕਾਰਜਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

1. ਇਕਸਾਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗੈਸ ਵੰਡ

ਜੀਡੀਪੀ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਵੰਡਦਾ ਹੈ ਜਿਵੇਂ ਕਿ:

SiH₄, NH₃, CF₄, O₂, NF₃, Ar

2. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨਿਯੰਤਰਣ

ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਛੇਕ ਪੈਟਰਨ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰਦੇ ਹਨ:

● ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਘਣਤਾ ਵੰਡ

● ਆਇਨ ਇਕਸਾਰਤਾ

● ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਇਕਸਾਰਤਾ

3. ਫਲੋ ਫੀਲਡ ਓਪਟੀਮਾਈਜੇਸ਼ਨ

ਉੱਨਤ GDP ਢਾਂਚੇ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੇ ਹਨ:

● ਗੈਸ ਨਿਵਾਸ ਸਮਾਂ

● ਪੂਰਵਗਾਮੀ ਮਿਸ਼ਰਣ ਕੁਸ਼ਲਤਾ

● ਚੈਂਬਰ ਪ੍ਰਵਾਹ ਗਤੀਸ਼ੀਲਤਾ

ਜਦੋਂ GDP ਅਸਫਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਕੀ ਹੁੰਦਾ ਹੈ?

ਕਿਉਂਕਿ ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਚੈਂਬਰ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਵਿਵਹਾਰ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਦਾ ਡਿਗਰੇਡੇਸ਼ਨ ਜਾਂ ਗੰਦਗੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਉਪਜ ਨੂੰ ਕਾਫ਼ੀ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਆਮ ਅਸਫਲਤਾ ਦੇ ਮੁੱਦਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

1. ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰਤਾ

ਬੰਦ ਜਾਂ ਮਿਟਾਏ ਹੋਏ ਗੈਸ ਛੇਕ ਗੈਸ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਵੰਡ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ:

● ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਭਿੰਨਤਾ

● ਗੈਰ-ਇਕਸਾਰ ਐਚਿੰਗ

● ਅਸਥਿਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਵਹਾਰ

2. ਵਧੀ ਹੋਈ ਕਣ ਪੈਦਾਵਾਰ

ਸਤ੍ਹਾ ਦਾ ਕਟੌਤੀ ਜਾਂ ਪਰਤ ਦਾ ਪਤਨ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਕਣਾਂ ਨੂੰ ਦਾਖਲ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਗੰਦਗੀ ਦੇ ਜੋਖਮ ਅਤੇ ਉਪਜ ਦਾ ਨੁਕਸਾਨ ਵਧ ਸਕਦਾ ਹੈ।

3. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਅਸਥਿਰਤਾ

ਖਰਾਬ GDP ਸਤਹਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲ ਸਕਦੀਆਂ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਇਹ ਪ੍ਰਭਾਵਿਤ ਹੁੰਦਾ ਹੈ:

● ਜਮ੍ਹਾ ਇਕਸਾਰਤਾ

● ਐਚ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ

● ਚੈਂਬਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ

● ਘਟੀ ਹੋਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਉਪਜ

ਉੱਨਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ, ਥੋੜ੍ਹੀ ਜਿਹੀ GDP ਗਿਰਾਵਟ ਵੀ ਵੇਫਰ-ਪੱਧਰ ਦੇ ਨੁਕਸ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਕਮੀ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਕਾਰਨ ਕਰਕੇ, ਸਥਿਰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਕਾਰਜਾਂ ਲਈ ਨਿਯਮਤ ਨਿਰੀਖਣ, ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਅਤੇ GDP ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਬਦਲੀ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।

AMAT 0020-31624 ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚੈਂਬਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ ਜੋ ਸਟੀਕ ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਥਿਰ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ, ਐਚਿੰਗ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਉਪਜ ਵਾਲੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਸੈਮੀਕਸਲੈਬ ਕਿਉਂ ਚੁਣੋ?

ਸੈਮੀਕਸਲੈਬ ਵਿਖੇ, ਅਸੀਂ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਇੰਟੈਂਸਿਵ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ-ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ ਗਏ ਉੱਨਤ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹਿੱਸਿਆਂ ਵਿੱਚ ਮਾਹਰ ਹਾਂ।

ਅਸੀਂ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਾਂ:

● ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਬਦਲਣ ਵਾਲੇ ਹਿੱਸੇ

● ਕਸਟਮ GDP ਨਿਰਮਾਣ ਹੱਲ

● ਉੱਨਤ ਸਮੱਗਰੀ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਸਹਾਇਤਾ

● ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਅਰਧਚਾਲਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹਿੱਸੇ

ਦੁਨੀਆ ਭਰ ਵਿੱਚ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਫੈਬ, OEM, ਅਤੇ ਉੱਨਤ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਕਾਸ ਵਾਤਾਵਰਣਾਂ ਲਈ।

ਆਪਣੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਲਈ ਭਰੋਸੇਯੋਗ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਚੈਂਬਰ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੱਲਾਂ ਦੀ ਪੜਚੋਲ ਕਰਨ ਲਈ ਅੱਜ ਹੀ ਸੈਮੀਕਸਲੈਬ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰੋ।

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਆਮ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ

ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ-ਵਧੀਆਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਵਿੱਚ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀਆਂ ਜਾਂਦੀਆਂ ਹਨ ਜਿੱਥੇ ਸਟੀਕ ਗੈਸ ਡਿਲੀਵਰੀ ਅਤੇ ਇਕਸਾਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵੰਡ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

1. PECVD (ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਨਹਾਂਸਡ ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ)

GDP ਇਹਨਾਂ ਵਿੱਚ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਭੂਮਿਕਾ ਨਿਭਾਉਂਦੇ ਹਨ:

● SiNx ਜਮ੍ਹਾ

● SiO₂ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ

● ਪੈਸੀਵੇਸ਼ਨ ਪਰਤ ਦਾ ਗਠਨ

● ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ

2. ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚਿੰਗ

ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ, GDP ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਸਥਿਰ ਕਰਨ ਅਤੇ ਗੈਸ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰਨ ਵਿੱਚ ਮਦਦ ਕਰਦੇ ਹਨ:

● ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਐਚਿੰਗ

● ਆਕਸਾਈਡ ਐਚਿੰਗ

● ਕੰਡਕਟਰ ਐਚਿੰਗ

● ਚੈਂਬਰ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ

3. ਉੱਨਤ CVD / ALD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ

ਕੁਝ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ, ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਇਹਨਾਂ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਲਈ ਵੀ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ:

● ਪੂਰਵਗਾਮੀ ਵੱਖਰਾ ਹੋਣਾ

● ਪਲਸ ਗੈਸ ਕੰਟਰੋਲ

● ਘੱਟ-ਕਣ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ